TOKYO BOEKI - официальный дистрибьютор Neoark на территории России и в других странах СНГ
ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ИЗУЧЕНИЯ МАГНИТНЫХ СВОЙСТВ МАТЕРИАЛОВ
Телефон:
+7-495-223-4000
Факс:
+7-495-223-4001
E-mail:
main@tokyo-boeki.ru

Настольная литографическая система

Система PALET DDB-701

Свяжитесь со специалистом удобным для Вас способом:
(495) 223-40-00 | systems@tokyo-boeki.ru
Компактная безмасочная фотолитографическая система PALET DDB-701
Безмасочная настольная литографическая система PALET позволяет быстро и легко проводить процесс литографии и превращать Ваши разработки в реальные устройства. Компактный размер системы, разумная стоимость и простота управления делают данную систему оптимальным выбором для тех, кто хочет воплотить свои идеи в реальной продукции, ведь разработка и тестирование новых устройств – это путь проб и ошибок. Главной концепцией системы фотолитографии PALET является простота её эксплуатации. PALET выполнен в виде компактного настольного блока, к которому подключается ноутбук и контроллер предметного столика. Всё, что нужно для нормального функционирования системы фотолитографии – это обычная однофазная розетка, небольшая «жёлтая комната» и немного места на столе.
Большинство заказчиков привыкли к тому, что безмасочные системы литографии довольно компактны, но весьма недёшевы. Система PALET разрушает сложившийся стереотип дороговизны. Приобретая PALET, заказчик получает надёжное, недорогое устройство, которое позволяет решать очень широкий круг задач и одновременно с этим не требует обеспечения охлаждающими жидкостями и сжатыми газами. В самом бюджетном варианте система поставляется с ручным предметным столиком.
- Невысокая стоимость приобретения и владения за счёт правильного подбора компонент
- Экспонируемая область: 25мм?25мм
- Минимальная ширина линии: 3мкм
- Ручной либо моторизованный предметный столик
- Объективы: х10 для высокого разрешения; х2 для высокой скорости экспонирования.

По простоте настройки и управления система фотолитографии PALET во многом схожа с настольным принтером: оператор устанавливает пластину, выбирает паттерн и просто «распечатывает» его на фоторезисте.

Разумная стоимость приобретения и владения
Результаты экспонирования зависят от целого ряда факторов: от фоторезиста (марка, производитель, но¬мер партии, условия хране¬ния, толщина нанесения), материала пластины, условий окружающей среды (температура, влажность), текущих настроек системы фотолитографии и т.п.

Режим тиражирования (Repeat mode) позволяет подобрать оптимальные условия экспонирования путём создания массива одного и того же паттерна с изменением глубины фокуса в одном направлении и интенсивности освещения в другом.

Заполнение пластины
Для рационального использования площади пластины у системы PALET предусмотрен режим наиболее полного заполнения экспонируемой площади (Canvas mode), который позволя¬ет размес¬тить несколько паттернов и для каждого из них задать свои, особые условия экспониро¬вания. В результате Canvas mode позволяет эконо¬мить пласти¬ны, фоторезист и рабочее время оператора.
Двойное экспонирование (совмещение)
Моторизованная модель системы фотолитографии PALET может проводить двойное экспонирование, зачастую необходимое при разработке полупроводниковых устройств. Управляющее программное обеспечение позволяет пользователю контролировать правильность совмещения в процессе двойного экспонирования.


Позиционирование пластины по структуре поверхности и данным паттерна. / Полуавтоматическое выравнивание пластины по горизонтали. / Подтверждение правильности совмещения перед экспонированием паттерна.
Предметный столик
Для удобства позици-они¬ро¬вания пластины на предметном столике можно установить либо несколько стопорных стер¬жней, либо специали-зированные дер¬жатели для пластин не¬стан-дартного размера или формы. Максимальный диаметр пластины для систем PALET серии DDB-701 равен 60 мм, а толщина – 3 мм.
Другие полезные функции:
  • Инвертирование «Негатив» – «Позитив»
  • Масштабирование паттернов
  • Анализ качества поверхности пластины при помощи камеры
  • Автоматическая фокусировка перед каждым импульсом
Модель DDB-701-MS-10 DDB-701-MS-2 DDB-701-DL-10 DDB-701-DL-2
Источник света Светодиод с длиной волны 365 нм (срок службы – 10 000 часов)
Объектив x10 x2 x10 x2
Мин. ширина линии 3 мкм 15 мкм 3 мкм 15 мкм
Размер пластины Максимальный диаметр – 60 мм; толщина - 3 мм
Площадь, экспонируемая за один имульс 1 мм × 0,6 мм 5 мм × 3 мм 1 мм × 0,6 мм 5 мм × 3 мм
Длительность импульса при экспонировании фоторезиста AZP-1350 толщиной 1 мкм 1 секунда 15 секунд 1 секунда 15 секунда
Максимальный размер экспонируемой области 25 мм × 25 мм
Предметный столик Ручной столик X-Y-Z-θ Моторизованный столик X-Y-Z-θ
Комплект поставки Базовый блок ・ Ноутбук ・ Программное обеспечение
Электропитание 1 фаза, 100-240В, до 1,5кВт
Формат входных данных JPEG, PNG, BITMAP, PowerPoint, DXF
Габариты и масса 300 мм (Ш) × 450 мм (Г) × 450 мм (В), 30 кг